EUV散射测量和掠入射小角度X射线散射中纳米结构重建的不确定性
Uncertainties in the reconstruction of nanostructures in EUV scatterometry and grazing incidence small-angle X-ray scattering
纳米结构的不断小型化和复杂化需要具有高吞吐量的创新计量解决方案，以非破坏性方式评估复杂的3D结构。我们研究了用于表征纳米结构化表面的EUV散射测量技术，并将其与掠入射小角度X射线散射（GISAXS）进行了比较。重建基于基于有限元的麦克斯韦求解器的严格模拟，并使用马尔可夫链蒙特卡罗采样方法进行统计验证。结果表明，与GISAXS相比，EUV允许探测更小的区域并减少计算时间，同时获得相当的不确定性。
